中国再秀本土曝光机台 上海微电子前、后段双线布局
- 谢昇辉／综合报导
中国半导体设备自主化持续推进，上海微电子（SMEE）近期在第九届中国国际进口博览会（进博会）展示新一代曝光设备，从前段乾式扫描投影曝光机SSC800、SSB800，到...
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