半导体厂务迈向预测式管理 科胜串起AVEVA工业数据
- 黄女瑛／台北
随着半导体制程迈向2纳米以下，3D IC与先进封装提高对制造环境稳定度的要求，电力、超纯水、真空及无尘室洁净度等厂务参数一旦异常，都可能影响晶圆良率。科胜结合AV...
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