Canon研发喷墨式晶圆平坦化技术 力拼2027年产品化
- 江仁杰／综合报导
Canon于1月13日宣布研发出一种在半导体制造过程中，能将晶圆表面凹凸处均匀平坦化的新技术，利用纳米压印微影（Nano-imprint Lithography；NIL）技术，以喷墨技术喷涂树脂材料后，再像盖印章一样压上玻璃板使其平滑。将表面的凹凸控制在5纳米以下...
会员登入
会员服务申请/试用
申请专线：
+886-02-87125398。
(周一至周五工作日9:00~18:00)
+886-02-87125398。
(周一至周五工作日9:00~18:00)
关键字
