科技1分钟：光阻剂是中国半导体一大罩门
- 宋丁仪
光阻剂（Photoresist）是半导体前段曝光制程中不可或缺的关键材料，直接决定芯片线宽、图形精度与良率表现。在晶圆制造过程中，光阻剂会先均匀涂布于晶圆表面，经曝光机透过光罩投射紫外光或极紫外光（EUV）后，产生化学反应，形成电路图形，再搭配蚀刻制程完成微...
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