绕开美国制裁 中芯国际启动中国自产曝光机测试
- 蔡云瑄/综合报导
为反制美国出口管制及降低依赖ASML,中国已开始测试首台自制的深紫外光(DUV)曝光机。外媒消息指出,中芯国际正测试上海新创开发的浸润式DUV设备,该设备最高可支持7纳米芯片生产。综合英国金融时报(FT)、韩媒Ddaily等消息...
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