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SpecialReportNo.5
IC975

绕开美国制裁 中芯国际启动中国自产曝光机测试

  • 蔡云瑄综合报导

为反制美国出口管制及降低依赖ASML,中国已开始测试首台自制的深紫外光(DUV)曝光机。外媒消息指出,中芯国际正测试上海新创开发的浸润式DUV设备,该设备最高可支持7纳米芯片生产。综合英国金融时报(FT)、韩媒Ddaily等消息...

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