上海爱晟纳DUV量产有操盘手？ 传「国务院级」专家亲参主导
- 谢昇辉／台北
中国曝光设备自主化近期传出新进展。上海爱晟纳电子科技集团研发的28纳米浸润式深紫外光（DUV）曝光机，已完成首批5台设备交付，显示中国自主曝光设备发展正逐步从技...
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