因应3D IC成长 日设备商忙扩产
- 江仁杰／综合报导
日本的半导体检测设备制造商正在扩充产能，增产可以检测晶圆针测设备（Wafer probing machine）与3D IC的设备，以因应精细化制程与3D IC不断成长的需求。日经新闻（Nikkei）报导，由于10~20纳米存储器与逻辑IC等...
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